2023年9月12日，深交所向蓝英装备(300293)下发关注函。前期，公司在互动易平台答复投资者称“公司精密清洗业务的芯片行业企业客户包括光刻机制造机企业的合资（参股）公司”，深交所要求补充说明公司用于光刻机行业产品的主要技术特征、技术优势、生产研发团队、在手订单、毛利率、在核心客户供应链体系中的具体定位和价值占比，说明上述产品对公司业绩是否具有重大影响，说明相关业务是否将大幅改善公司基本面情况，并进一步提示相关风险。