北方华创:国产12英寸CCP晶边干法刻蚀设备已在客户端实现量产

北方华创9月17日在互动平台上称,公司前期已经发布了首台国产12英寸CCP晶边干法刻蚀设备研发成功有关信息,目前已在客户端实现量产,其优秀的工艺均匀性、稳定性赢得客户高度评价。

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