当地时间周五费城半导体指数跌2.7%。10月16日早盘，光刻机概念大幅走低。截至10时41分，半导体设备ETF(561980)大跌2.79%，成分股中微公司、江丰电子、深科达、和林微纳、拓荆科技、紫光国微跌幅居前。资金热度不减，10月13日该基金获资金逆市增仓。

10月9日，美国同意三星电子和SK海力士向其位于中国的工厂提供设备，无需其它许可。换言之，在无需单独批准的情况下，上述两家半导体公司可以向中国工厂供应含美国技术的半导体设备。三星电子称，通过与相关政府的密切协调，三星电子在中国的半导体生产线运营的不确定性已经大大消除。公司将继续密切与所有相关政府保持密切合作，为全球半导体产业维护稳定的供应链。

业内人士称，根据无限期豁免，美国将把这两家芯片制造商添加到其“经过验证的最终用户”（VEU）名单中，该名单表明哪些实体可以接收各种美国技术的出口。一旦被列入名单，芯片制造商将不再需要单独出口案件的新许可。

上海申银万国证券研究所有限公司表示，预计3Q23半导体设备板块业绩增速最优，多数公司业绩环比回升。预计北方华创、中科飞测、拓荆科技等设备厂商3Q23营收同比增速均超30%；预计被动元件、化合物半导体核心标的营收整体同比高增。环比来看，预计各版块公司Q3均有良好表现，已现复苏迹象，关注底部复苏板块投资机会。