晶盛机电:目前公司碳化硅衬底片已通过多家下游企业验证,并实现批量销售

晶盛机电近期在接受调研时表示,自布局碳化硅衬底业务以来,公司通过自主开发的设备、热场和工艺技术,不断延伸产品系列。经过研发团队的技术攻关,公司于2020年建立6-8英寸碳化硅晶体生长及切磨抛产线,于2022年成功研发出8英寸N型碳化硅晶体。2023年11月,公司正式进入了碳化硅衬底片项目的量产阶段。目前公司碳化硅衬底片已通过多家下游企业验证,并实现批量销售。

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