3月5日，光刻机概念午后走高，张江高科涨超6%，蓝英装备、旭光电子、京华激光、苏大维格等跟涨。
光刻机概念午后走高，张江高科涨超6%
来源：界面新闻
张江高科
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旭光电子
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蓝英装备
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