南大光电6月18日在互动平台表示，目前通过验证的三款ArF光刻胶有少量销售，质量稳定。具体量产进度需根据客户订单情况确定。公司正加速推进产品验证和市场拓展工作，争取早日实现量产。
南大光电：三款ArF光刻胶有少量销售
来源：界面新闻
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