光刻机概念持续走高，蓝英装备、凯美特气、旭光电子、*ST和科涨停，新莱应材、芯碁微装、海立股份、茂莱光学等跟涨。
光刻机概念持续走高，蓝英装备等多股涨停
来源：界面新闻
蓝英装备
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旭光电子
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