截至2025年7月18日 15:00，上证科创板半导体材料设备主题指数(950125)上涨0.88%，成分股拓荆科技(688072)上涨4.86%，神工股份(688233)上涨3.44%，中微公司(688012)上涨2.28%，富创精密(688409)上涨1.19%，欧莱新材(688530)上涨1.12%。科创半导体ETF(588170)上涨0.79%，最新价报1.02元。

流动性方面，科创半导体ETF盘中换手15.4%，成交3981.51万元，市场交投活跃。拉长时间看，截至7月17日，科创半导体ETF近1月日均成交4271.52万元。

规模方面，科创半导体ETF近1周规模增长2504.59万元，实现显著增长，新增规模位居可比基金1/2。

份额方面，科创半导体ETF近1周份额增长2800.00万份，实现显著增长，新增份额位居可比基金1/2。

从资金净流入方面来看，科创半导体ETF近5天获得连续资金净流入，最高单日获得1621.47万元净流入，合计“吸金”3042.52万元，日均净流入达608.50万元。

跟踪精度方面，截至2025年7月17日，科创半导体ETF近1月跟踪误差为0.022%，在可比基金中跟踪精度最高。

公开信息显示，科创半导体ETF（588170）跟踪上证科创板半导体材料设备主题指数，囊括科创板中半导体设备和半导体材料细分领域的硬科技公司。半导体设备和材料行业是重要的国产替代领域，具备国产化率较低、国产替代天花板较高属性，受益于人工智能革命下的半导体需求扩张、科技重组并购浪潮、光刻机技术进展。

数据显示，截至2025年6月30日，上证科创板半导体材料设备主题指数(950125)前十大权重股分别为华海清科(688120)、中微公司(688012)、沪硅产业(688126)、拓荆科技(688072)、中科飞测(688361)、安集科技(688019)、芯源微(688037)、华峰测控(688200)、天岳先进(688234)、盛美上海(688082)，前十大权重股合计占比72.71%。