截至2026年2月26日 13:35，中证半导体材料设备主题指数(931743)强势上涨1.30%，成分股京仪装备上涨8.08%，长川科技上涨6.34%，神工股份上涨5.14%，芯源微，拓荆科技等个股跟涨。半导体设备ETF华夏(562590)上涨1.23%， 冲击5连涨。

流动性方面，半导体设备ETF华夏盘中换手9.42%，成交2.61亿元。拉长时间看，截至2月25日，半导体设备ETF华夏近1周日均成交1.99亿元。

跟踪精度方面，截至2026年2月25日，半导体设备ETF华夏今年以来跟踪误差为0.011%，在可比基金中跟踪精度最高。

相关ETF：科创半导体ETF（588170）及其联接基金（A类：024417；C类：024418）：跟踪指数是科创板唯一的半导体设备主题指数，其中先进封装含量在全市场中最高（约50%），聚焦于科技创新前沿的硬核设备公司。

半导体设备ETF华夏（562590）及其联接基金（A类：020356；C类：020357），跟踪中证半导体材料设备主题指数，其中半导体设备的含量在全市场指数中最高（约63%），直接受益于全球芯片涨价潮对“卖铲人”（设备商）的确定性需求。