截至2026年2月26日 13:31，上证科创板半导体材料设备主题指数(950125)强势上涨2.27%，成分股欧莱新材上涨19.70%，京仪装备上涨8.32%，神工股份上涨5.85%，芯源微，拓荆科技等个股跟涨。科创半导体ETF(588170)上涨2.13%， 冲击5连涨。

流动性方面，科创半导体ETF盘中换手12.49%，成交10.57亿元，市场交投活跃。拉长时间看，截至2月25日，科创半导体ETF近1周日均成交9.75亿元。

跟踪精度方面，截至2026年2月25日，科创半导体ETF近1月跟踪误差为0.007%，在可比基金中跟踪精度最高。

相关ETF：科创半导体ETF（588170）及其联接基金（A类：024417；C类：024418）：跟踪指数是科创板唯一的半导体设备主题指数，其中先进封装含量在全市场中最高（约50%），聚焦于科技创新前沿的硬核设备公司。

半导体设备ETF华夏（562590）及其联接基金（A类：020356；C类：020357），跟踪中证半导体材料设备主题指数，其中半导体设备的含量在全市场指数中最高（约63%），直接受益于全球芯片涨价潮对“卖铲人”（设备商）的确定性需求。