截至2026年2月27日 13:29，上证科创板半导体材料设备主题指数(950125)下跌2.19%。成分股方面涨跌互现，欧莱新材领涨6.26%，富创精密上涨0.64%，晶升股份上涨0.08%；盛美上海领跌8.44%，京仪装备下跌4.72%，安集科技下跌4.26%。科创半导体ETF(588170)下跌2.05%，最新报价1.87元。拉长时间看，截至2026年2月26日，科创半导体ETF今年以来累计上涨26.51%。

流动性方面，科创半导体ETF盘中换手11.71%，成交10.06亿元，市场交投活跃。拉长时间看，截至2月26日，科创半导体ETF近1周日均成交10.69亿元。

规模方面，科创半导体ETF最新规模达88.04亿元，创成立以来新高。

资金流入方面，科创半导体ETF最新资金净流入1.72亿元。拉长时间看，近17个交易日内有10日资金净流入，合计“吸金”3.08亿元，日均净流入达1812.58万元。（数据来源：Wind）

跟踪精度方面，截至2026年2月26日，科创半导体ETF近1月跟踪误差为0.007%，在可比基金中跟踪精度最高。

相关ETF：

科创半导体ETF（588170）及其联接基金（A类：024417；C类：024418）：跟踪指数是科创板唯一的半导体设备主题指数，其中先进封装含量在全市场中最高（约50%），聚焦于科技创新前沿的硬核设备公司。

半导体设备ETF华夏（562590）及其联接基金（A类：020356；C类：020357），跟踪中证半导体材料设备主题指数，其中半导体设备的含量在全市场指数中最高（约63%），直接受益于全球芯片涨价潮对“卖铲人”（设备商）的确定性需求。