截至2026年3月5日 10:47，上证科创板半导体材料设备主题指数(950125)强势上涨2.60%，成分股新益昌上涨13.94%，和林微纳上涨7.02%，中巨芯上涨5.02%，先锋精科，华兴源创等个股跟涨。科创半导体ETF(588170)上涨2.40%，最新价报1.75元。拉长时间看，截至2026年3月4日，科创半导体ETF近3月累计上涨22.21%。

流动性方面，科创半导体ETF盘中换手6.42%，成交5.64亿元。拉长时间看，截至3月4日，科创半导体ETF近1周日均成交10.29亿元。

资金流入方面，科创半导体ETF最新资金净流出4807.34万元。拉长时间看，近5个交易日内有4日资金净流入，合计“吸金”8.69亿元，日均净流入达1.74亿元。

跟踪精度方面，截至2026年3月4日，科创半导体ETF近2月跟踪误差为0.007%，在可比基金中跟踪精度最高。

相关ETF：科创半导体ETF（588170）及其联接基金（A类：024417；C类：024418）：跟踪指数是科创板唯一的半导体设备主题指数，其中先进封装含量在全市场中最高（约50%），聚焦于科技创新前沿的硬核设备公司。

半导体设备ETF华夏（562590）及其联接基金（A类：020356；C类：020357），跟踪中证半导体材料设备主题指数，其中半导体设备的含量在全市场指数中最高（约63%），直接受益于全球芯片涨价潮对“卖铲人”（设备商）的确定性需求。