截至2026年3月20日 09:44，科创半导体ETF（588170）上涨1.12%，半导体设备ETF华夏（562590）上涨0.68%。

热门个股方面，神工股份上涨2.92%，拓荆科技上涨2.88%，中科飞测上涨2.60%，耐科装备，和林微纳等个股跟涨。

流动性方面，科创半导体ETF盘中换手1.36%，成交1.14亿元；半导体设备ETF华夏盘中换手0.47%，成交1216.05万元。

规模方面，科科创半导体ETF最新规模达83.02亿元，领先同类；半导体设备ETF华夏最新规模达25.80亿元。

资金流入方面，科创半导体ETF最新资金净流入6433.85万元。拉长时间看，近5个交易日内有4日资金净流入，合计"吸金“8421.74万元，日均净流入达1684.35万元；半导体设备ETF华夏最新资金净流出1939.19万元。拉长时间看，近10个交易日内有6日资金净流入，合计“吸金”1.07亿元，日均净流入达1070.14万元。

相关ETF：科创半导体ETF（588170）及其联接基金（A类：024417；C类：024418）：跟踪指数是科创板唯一的半导体设备主题指数，其中先进封装含量在全市场中最高（约50%），聚焦于科技创新前沿的硬核设备公司。

半导体设备ETF华夏（562590）及其联接基金（A类：020356；C类：020357），跟踪中证半导体材料设备主题指数，其中半导体设备的含量在全市场指数中最高（约63%），直接受益于全球芯片涨价潮对“卖铲人”（设备商）的确定性需求。