截至2026年4月8日14:29，上证科创板半导体材料设备主题指数(950125)强势上涨6.02%，成分股华海诚科上涨12.42%，艾森股份上涨11.42%，欧莱新材上涨10.26%，兴福电子，和林微纳等个股跟涨。科创半导体ETF华夏(588170)上涨6.00%， 冲击3连涨。最新价报1.68元。

消息方面，2026年一季度科创板半导体材料设备ETF(交易型开放式指数基金)份额较年初接近翻番，区间净流入额近60亿元(人民币)。相关市场人士称，市场资金加速流入科创板ETF产品，彰显“十五五”开局之年市场对国产替代加速发展的坚定信心。

流动性方面，科创半导体ETF华夏盘中换手9.54%，成交8.05亿元。拉长时间看，截至4月7日，科创半导体ETF华夏近1月日均成交6.78亿元。

数据显示，截至2026年3月31日，上证科创板半导体材料设备主题指数(950125)前十大权重股分别为拓荆科技、华海清科、中微公司、中科飞测、安集科技、沪硅产业、芯源微、华峰测控、天岳先进、富创精密，前十大权重股合计占比74.31%。

相关ETF：科创半导体ETF华夏（588170）及其联接基金（A类：024417；C类：024418）：跟踪指数是科创板唯一的半导体设备主题指数，其中先进封装含量在全市场中最高（约50%），聚焦于科技创新前沿的硬核设备公司。

半导体设备ETF华夏（562590）及其联接基金（A类：020356；C类：020357），跟踪中证半导体材料设备主题指数，其中半导体设备的含量在全市场指数中最高（约63%），直接受益于全球芯片涨价潮对“卖铲人”（设备商）的确定性需求。