截至2026年4月27日 14:57，上证科创板半导体材料设备主题指数(950125)强势上涨6.39%，成分股欧莱新材上涨20.00%，华兴源创上涨20.00%，芯源微上涨17.87%，富创精密，龙图光罩等个股跟涨。科创半导体ETF华夏(588170)上涨6.53%，最新价报1.91元。拉长时间看，截至2026年4月24日，科创半导体ETF华夏近1周累计上涨2.87%，涨幅排名可比基金1/3。

流动性方面，科创半导体ETF华夏盘中换手17.24%，成交14.93亿元，市场交投活跃。拉长时间看，截至4月24日，科创半导体ETF华夏近1周日均成交7.61亿元，居可比基金第一。

规模方面，科创半导体ETF华夏近2周规模增长4416.02万元，实现显著增长，新增规模位居可比基金1/3。（数据来源：Wind）

份额方面，科创半导体ETF华夏近3月份额增长2.42亿份，实现显著增长，新增份额位居可比基金1/3。（数据来源：Wind）

跟踪精度方面，截至2026年4月24日，科创半导体ETF华夏近3月跟踪误差为0.005%，在可比基金中跟踪精度最高。