消息面上，1）半导体设备与材料：全球支出创新高叠加国产替代加速。2025年全球半导体制造设备销售额达1351亿美元同比增长15%，中国大陆支出493亿美元居首；中微公司刻蚀设备销售同比增长35.12%，12英寸高端设备用于3纳米加工；华峰测控获15亿元订单，STS8300测试机收入预计增67%；中芯国际2025年新增5万片12寸产能，反映下游高景气。

2）电子化学品与特气：技术突破驱动国产化进程。中船特气六氟化钨价格上调70%-90%，三氟甲磺酸系列全球产能领先；兴福电子湿电子化学品销量强劲增长，光刻胶用光引发剂技术打破境外垄断。

3）AI算力与先进制程：需求爆发拉动全产业链。谷歌TPU 8T芯片推动光模块配比翻倍，液冷渗透率升至33%；台积电2026Q1营收同比增35.1%，三星HBM营收增300%，验证AI服务器带动的存储与设备高景气周期。

国泰海通证券指出，半导体设备行业增长的核心驱动力已从先进制程转向成熟制程、特色工艺及第三代半导体等领域，预计2026年全球市场规模将达1240亿美元，其中中国市场份额占比32%，需求结构向28nm以上成熟制程及汽车芯片产线倾斜；该券商进一步强调，先进封装设备、第三代半导体制造设备及成熟制程刻蚀/薄膜沉积设备增速领先，同比增幅均超30%。国泰海通证券同时提到，科创板半导体设备类上市公司在刻蚀、薄膜沉积等细分领域已形成技术突破，部分企业产品线与国际龙头对标。

截至2026年4月30日 14:25，上证科创板半导体材料设备主题指数(950125)强势上涨4.16%，成分股芯源微上涨15.09%，中巨芯上涨10.89%，欧莱新材上涨8.91%，华峰测控，中科飞测等个股跟涨。科创半导体设备ETF鹏华(589020)上涨4.10%，最新价报1.6元。

科创半导体设备ETF鹏华紧密跟踪上证科创板半导体材料设备主题指数，上证科创板半导体材料设备主题指数选取科创板内业务涉及半导体材料和半导体设备等领域的上市公司证券作为指数样本，以反映科创板半导体材料和设备上市公司证券的整体表现。

数据显示，截至2026年3月31日，上证科创板半导体材料设备主题指数(950125)前十大权重股分别为拓荆科技、华海清科、中微公司、中科飞测、安集科技、沪硅产业、芯源微、华峰测控、天岳先进、富创精密，前十大权重股合计占比74.31%。