截至2026年5月7日 11:05，上证科创板半导体材料设备主题指数强势上涨1.24%，成分股晶升股份上涨5.57%，华海诚科上涨4.39%，拓荆科技上涨4.14%，华海清科，和林微纳等个股跟涨。科创半导体ETF华夏（588170）上涨1.40%， 冲击4连涨。最新价报2.03元。拉长时间看，截至2026年5月6日，科创半导体ETF华夏近2周累计上涨10.62%。（以上所列股票仅为指数成份股，无特定推荐之意）

流动性方面，科创半导体ETF华夏盘中换手7.78%，成交6.73亿元。拉长时间看，截至5月6日，科创半导体ETF华夏近1周日均成交10.92亿元，居可比基金第一。

规模方面，科创半导体ETF华夏最新规模达86.29亿元，创近1月新高，位居可比基金1/3。（数据来源：Wind）

份额方面，科创半导体ETF华夏近半年份额增长16.58亿份，实现显著增长，新增份额位居可比基金1/3。（数据来源：Wind）

费率方面，科创半导体ETF华夏管理费率为0.50%，托管费率为0.10%，费率在可比基金中最低。

跟踪精度方面，截至2026年5月6日，科创半导体ETF华夏今年以来跟踪误差为0.007%，在可比基金中跟踪精度最高。

相关ETF：科创半导体ETF华夏（588170）及其联接基金（A类：024417；C类：024418）：跟踪指数是科创板唯一的半导体设备主题指数，其中先进封装含量在全市场中最高（约50%），聚焦于科技创新前沿的硬核设备公司。

半导体设备ETF华夏（562590）及其联接基金（A类：020356；C类：020357）：跟踪中证半导体材料设备主题指数，其中半导体设备的含量在全市场指数中最高（约63%），直接受益于全球芯片涨价潮对“卖铲人”（设备商）的确定性需求。