截至2026年5月7日 11:08，中证半导体材料设备主题指数(931743)强势上涨1.16%，成分股晶升股份上涨5.11%，广立微上涨4.61%，有研新材上涨4.52%，联动科技，华海诚科等个股跟涨。半导体设备ETF华夏(562590)上涨1.34%， 冲击3连涨。最新价报2.19元。拉长时间看，截至2026年5月6日，半导体设备ETF华夏近2周累计上涨11.28%。（以上所列股票仅为指数成份股，无特定推荐之意）

流动性方面，半导体设备ETF华夏盘中换手7.91%，成交2.32亿元。拉长时间看，截至5月6日，半导体设备ETF华夏近1月日均成交1.90亿元。

规模方面，半导体设备ETF华夏最新规模达29.22亿元，创近3月新高。（数据来源：Wind）

跟踪精度方面，截至2026年5月6日，半导体设备ETF华夏今年以来跟踪误差为0.013%，在可比基金中跟踪精度最高。

相关ETF：科创半导体ETF华夏（588170）及其联接基金（A类：024417；C类：024418）：跟踪指数是科创板唯一的半导体设备主题指数，其中先进封装含量在全市场中最高（约50%），聚焦于科技创新前沿的硬核设备公司。

半导体设备ETF华夏（562590）及其联接基金（A类：020356；C类：020357）：跟踪中证半导体材料设备主题指数，其中半导体设备的含量在全市场指数中最高（约63%），直接受益于全球芯片涨价潮对“卖铲人”（设备商）的确定性需求。