截至2026年5月13日09:50，上证科创板半导体材料设备主题指数(950125)下跌0.45%。成分股方面涨跌互现，新益昌领涨11.51%，晶升股份上涨9.43%，天岳先进上涨6.03%；中芯国际领跌3.53%，盛美上海下跌3.22%，龙图光罩下跌3.12%。科创半导体ETF华夏(588170)盘中换手3.19%，成交2.77亿元。规模方面，科创半导体ETF华夏最新规模达87.63亿元，创近1月新高。

消息面上，二季度以来，多只在美上市的中国科技ETF持续获得资金净流入，结束了二三月份的净流出态势。与此同时，外资机构密集调研A股科技赛道，聚焦半导体、高端元器件、品牌出海等细分赛道。

招商证券分析认为，AI驱动的全球算力基建正加速扩张，2026年全球九大CSP合计资本开支预计达约8300亿美元，同比大幅增长79%。该轮资本开支上修主要由AI推理需求激增、KV Cache扩容推动内存层级系统化升级所驱动，存储行业供需缺口将延续至2027年；国内模组厂商江波龙、德明利、佰维存储26Q1营收与归母净利润均创历史新高，平均单月利润约10亿元，并已与多家原厂签订LTA锁定供应链资源。国产存储厂商正加速抢占海外大厂退出的2D NAND及利基DRAM市场。

数据显示，截至2026年4月30日，上证科创板半导体材料设备主题指数(950125)前十大权重股分别为拓荆科技、中微公司、华海清科、中科飞测、芯源微、沪硅产业、华峰测控、安集科技、天岳先进、富创精密，前十大权重股合计占比72.94%。

相关ETF：科创半导体ETF华夏（588170）及其联接基金（A类：024417；C类：024418）：跟踪指数是科创板唯一的半导体设备主题指数，其中先进封装含量在全市场中最高（约50%），聚焦于科技创新前沿的硬核设备公司。

半导体设备ETF华夏（562590）及其联接基金（A类：020356；C类：020357），跟踪中证半导体材料设备主题指数，其中半导体设备的含量在全市场指数中最高（约63%），直接受益于全球芯片涨价潮对“卖铲人”（设备商）的确定性需求。