截至2026年5月15日收盘，上证科创板半导体材料设备主题指数(950125)强势上涨4.29%，成分股中巨芯涨停，华海诚科上涨15.49%，富创精密上涨14.25%，中微公司，晶升股份等个股跟涨。科创半导体ETF华夏(588170)收涨4.68%。

今日氟化工、半导体设备拉涨，芯片概念探底回升。受益于韩国无水氢氟酸生产商价格上涨，以及中微公司归母净利润同比大增197.20%。

招商证券表示，4月以来费城半导体指数持续上涨，2026年全球CSP（CSPI）合计资本开支预计约8300亿美元，带动AI产业链景气度持续提升。全球CPU市场空间大幅提升，国产算力订单及营收高速增长，同时带动国内先进制程需求。国内存储扩产趋势明确，国产化率迎来提升，设备订单持续向好、材料随产能突破瓶颈后迎来规模化提升。建议关注受益于供需紧张的存储、需求持续向好的算力及代工、扩产周期的设备材料等，同时建议关注各科创指数和半导体指数核心成分股。

数据显示，截至2026年4月30日，上证科创板半导体材料设备主题指数(950125)前十大权重股分别为拓荆科技、中微公司、华海清科、中科飞测、芯源微、沪硅产业、华峰测控、安集科技、天岳先进、富创精密，前十大权重股合计占比72.94%。

相关ETF：科创半导体ETF华夏（588170）及其联接基金（A类：024417；C类：024418）：跟踪指数是科创板唯一的半导体设备主题指数，其中先进封装含量在全市场中最高（约50%），聚焦于科技创新前沿的硬核设备公司。

半导体设备ETF华夏（562590）及其联接基金（A类：020356；C类：020357），跟踪中证半导体材料设备主题指数，其中半导体设备的含量在全市场指数中最高（约63%），直接受益于全球芯片涨价潮对“卖铲人”（设备商）的确定性需求。