截至2026年5月19日 14:35，中证半导体材料设备主题指数(931743)强势上涨4.48%，成分股沪硅产业上涨20.00%，立昂微上涨10.01%，中科飞测上涨8.44%，中微公司，有研硅等个股跟涨。半导体设备ETF华夏(562590)上涨4.41%， 冲击3连涨。最新价报2.65元。拉长时间看，截至2026年5月18日，半导体设备ETF华夏近1周累计上涨9.44%。（以上所列股票仅为指数成份股，无特定推荐之意）

       流动性方面，半导体设备ETF华夏盘中换手率13.31%，成交额4.36亿元，市场交投活跃。拉长时间看，截至5月18日，半导体设备ETF华夏近1周日均成交额3.68亿元。

       规模方面，半导体设备ETF华夏最新规模达31.99亿元。（数据来源：Wind）

       截至5月18日，半导体设备ETF华夏近6月净值上涨65.75%。

       跟踪精度方面，截至2026年5月18日，半导体设备ETF华夏今年以来跟踪误差为0.013%，在可比基金中跟踪精度最高。

       半导体设备ETF华夏(562590)，场外联接(华夏半导体材料设备ETF联接A：020356；华夏半导体材料设备ETF联接C：020357)。

       华夏基金旗下全部ETF完成“实名认证”，场内扩位简称全面焕新为“ETF华夏”! 买ETF，认准ETF华夏！

       免责提示：以上内容为有连云基于客观数据，由程序或算法智能生成，仅作为投资者参考，不构成投资建议或交易依据。基金有风险，投资需谨慎！