截至2026年5月20日09:58，上证科创板半导体材料设备主题指数(950125)强势上涨3.76%，成分股上海合晶上涨18.21%，中科飞测上涨16.10%，艾森股份上涨8.69%，华兴源创，神工股份等个股跟涨。科创半导体ETF华夏(588170)上涨3.30%，冲击4连涨。

A股半导体板块延续强势，长鑫存储、GPU、半导体、半导体设备概念早盘活跃，长江证券认为，2025至2027年全球晶圆厂设备支出将持续增长。国内龙头在刻蚀、薄膜沉积、清洗等关键设备领域市占率稳步提升，且研发投入持续加码，产品矩阵不断完善，在国产化替代趋势下长期成长性明确。

分析表示，随着AI算力需求大幅增长，作为芯片制造“母机”的半导体设备，正迎来高景气周期。多家公司一季度业绩的亮眼表现，反映了下游需求的旺盛，尤其是AI服务器、高性能计算芯片需求的爆发，推动了先进芯片的扩产潮。从一季报来看，半导体设备板块整体盈利能力向好。在AI算力需求高增等多重利好因素驱动下，我国半导体产业进展超市场预期。看好半导体设备、材料、晶圆制造相关板块。

数据显示，截至2026年4月30日，上证科创板半导体材料设备主题指数(950125)前十大权重股分别为拓荆科技、中微公司、华海清科、中科飞测、芯源微、沪硅产业、华峰测控、安集科技、天岳先进、富创精密，前十大权重股合计占比72.94%。

相关ETF：科创半导体ETF华夏（588170）及其联接基金（A类：024417；C类：024418）：跟踪指数是科创板唯一的半导体设备主题指数，其中先进封装含量在全市场中最高（约59%），聚焦于科技创新前沿的硬核设备公司。

半导体设备ETF华夏（562590）及其联接基金（A类：020356；C类：020357），跟踪中证半导体材料设备主题指数，其中半导体设备的含量在全市场指数中最高（约63%），直接受益于全球芯片涨价潮对“卖铲人”（设备商）的确定性需求。