截至2026年5月21日 10:35，中证半导体材料设备主题指数(931743)强势上涨4.48%，成分股联动科技上涨10.43%，北方华创上涨10.00%，拓荆科技上涨9.36%，中微公司，长川科技等个股跟涨。半导体设备ETF华夏(562590)上涨4.14%， 冲击5连涨。最新价报2.94元。拉长时间看，截至2026年5月20日，半导体设备ETF华夏近1周累计上涨14.74%。（以上所列股票仅为指数成份股，无特定推荐之意）

       流动性方面，半导体设备ETF华夏盘中换手率10.89%，成交额4.36亿元，市场交投活跃。拉长时间看，截至5月20日，半导体设备ETF华夏近1周日均成交额4.70亿元。

       规模方面，半导体设备ETF华夏最新规模达39.17亿元，创近1年新高。（数据来源：Wind）

       资金流入方面，半导体设备ETF华夏最新资金净流入2.54亿元。拉长时间看，近5个交易日内有3日资金净流入，合计“吸金”3.11亿元，日均净流入达6211.78万元。（数据来源：Wind）

       截至5月20日，半导体设备ETF华夏近6月净值上涨89.83%。

       跟踪精度方面，截至2026年5月20日，半导体设备ETF华夏今年以来跟踪误差为0.013%，在可比基金中跟踪精度最高。

       半导体设备ETF华夏(562590)，场外联接(华夏半导体材料设备ETF联接A：020356；华夏半导体材料设备ETF联接C：020357)。

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