截至2026年5月27日 13:40，上证科创板半导体材料设备主题指数(950125)成分股方面涨跌互现，晶升股份领涨12.38%，天岳先进上涨10.59%，中船特气上涨9.39%；拓荆科技领跌。科创半导体ETF华夏(588170)最新报价2.59元。

流动性方面，科创半导体ETF华夏盘中换手18.34%，成交23.12亿元，市场交投活跃。拉长时间看，截至5月26日，科创半导体ETF华夏近1周日均成交35.97亿元。

早盘碳化硅概念再度走强，消息面上，随着英伟达GPU平台迭代，数据中心机柜功耗将从传统服务器的10至15千瓦飙升至2029至2030年Feynman平台时代的逾1.5兆瓦，涨幅接近100倍，现有电力基础设施已无力承载这一需求。碳化硅（SiC）与氮化镓（GaN）成为破解电力瓶颈的核心材料，正从汽车与工业周期需求转向AI数据中心长期结构性需求。

华西证券研报称，到2030年整体电源的SiC衬底需求有望接近700亿元，有望实现近8倍增长，其中8吋下游FAB线的大量扩产有望大幅刺激衬底与设备需求。

数据显示，截至2026年4月30日，上证科创板半导体材料设备主题指数(950125)前十大权重股分别为拓荆科技、中微公司、华海清科、中科飞测、芯源微、沪硅产业、华峰测控、安集科技、天岳先进、富创精密，前十大权重股合计占比72.94%。

相关ETF：科创半导体ETF华夏（588170）及其联接基金（A类：024417；C类：024418）：跟踪指数是科创板唯一的半导体设备主题指数，其中先进封装含量在全市场中最高（约59%），聚焦于科技创新前沿的硬核设备公司。

半导体设备ETF华夏（562590）及其联接基金（A类：020356；C类：020357），跟踪中证半导体材料设备主题指数，其中半导体设备的含量在全市场指数中最高（约63%），直接受益于全球芯片涨价潮对“卖铲人”（设备商）的确定性需求。