截至2026年5月28日 11:13，上证科创板半导体材料设备主题指数(950125)上涨0.68%，成分股中船特气上涨10.64%，沪硅产业上涨9.19%，中芯国际上涨6.52%，兴福电子上涨5.71%，欧莱新材上涨5.34%。科创半导体ETF华夏(588170)上涨0.94%，最新价报2.59元。拉长时间看，截至2026年5月27日，科创半导体ETF华夏近2周累计上涨10.79%，涨幅排名可比基金1/3。（以上所列股票仅为指数成份股，无特定推荐之意）

流动性方面，科创半导体ETF华夏盘中换手15.45%，成交18.82亿元，市场交投活跃。拉长时间看，截至5月27日，科创半导体ETF华夏近1周日均成交36.61亿元，排名可比基金第一。

资金流入方面，科创半导体ETF华夏最新资金流入流出持平。拉长时间看，近5个交易日内，合计“吸金”13.89亿元。（数据来源：Wind）

相关ETF：科创半导体ETF华夏（588170）及其联接基金（A类：024417；C类：024418）：跟踪指数是科创板唯一的半导体设备主题指数，其中存储芯片含量近80%，先进封装含量在全市场中最高（约59%），聚焦于科技创新前沿的硬核设备公司。