半导体设备掀起涨停潮，消息面上，机构研报指出，截至6月8日，国内半导体硅片环节的边际变化在于，继此前取消销售折让的变相提价后，厂商已开始明确酝酿新一轮直接涨价，标志着价格传导正式从晶圆厂向下游材料端延伸。此外，台积电重申2026资本开支为520~560亿美金，内部倾向于接近上限。全行业扩产的背景下，洁净室、厂房成了瓶颈环节。

中国银河证券指出，5月半导体维持高景气，行情由普涨转为结构性分化。6月聚焦三条主线：①周期反转：功率半导体；②低位滞涨修复：晶圆制造龙头；③高景气延续：半导体设备和材料。

截至2026年6月9日 14:32，上证科创板半导体材料设备主题指数(950125)强势上涨7.74%，成分股沪硅产业上涨20.01%，晶升股份上涨20.00%，富创精密上涨20.00%，中巨芯，上海合晶等个股跟涨。科创半导体设备ETF鹏华(589020)上涨7.79%，最新价报2.05元。

科创半导体设备ETF鹏华紧密跟踪上证科创板半导体材料设备主题指数，上证科创板半导体材料设备主题指数选取科创板内业务涉及半导体材料和半导体设备等领域的上市公司证券作为指数样本，以反映科创板半导体材料和设备上市公司证券的整体表现。

数据显示，截至2026年5月29日，上证科创板半导体材料设备主题指数(950125)前十大权重股分别为拓荆科技、华海清科、中微公司、沪硅产业、中科飞测、芯源微、华峰测控、安集科技、天岳先进、中船特气，前十大权重股合计占比72.71%。