截至2026年6月16日 14:22，中证半导体材料设备主题指数(931743)强势上涨1.63%，半导体设备ETF易方达(159558)上涨1.50%，盘中换手6.28%，成交5.20亿元。

截至6月15日，半导体设备ETF易方达(159558)近3月规模增长31.37亿元，近1月份额增长2.41亿份，实现显著增长。

资金流入方面，半导体设备ETF易方达(159558)最新资金净流入4446.84万元。拉长时间看，近21个交易日内，合计“吸金”7.74亿元。

万联证券指出，燧原科技与粤芯半导体IPO即将上会，分别代表AI芯片与晶圆代工优质标的，受益于AI产业浪潮。SK海力士已向韩美半导体订购HBM4制造设备，价值约2900万美元，标志HBM4量产正式启动。同时DDR5需求强劲推升DDR3价格，显示AI存力建设仍在加速。随着更多本土半导体企业上市，上游设备及材料需求有望被进一步拉动。

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半导体设备ETF易方达（159558）跟踪中证半导体材料设备主题指数（931743），该指数选取沪深市场半导体材料和设备领域上市公司为样本，综合费率0.60%

芯片ETF易方达（516350）跟踪中证芯片产业指数，综合费率0.20%

科创芯片ETF易方达（589130）跟踪上证科创板芯片指数，综合费率0.60%

科创芯片设计ETF易方达（589030）跟踪上证科创板芯片设计主题指数，综合费率0.60%