今日半导体产业链下挫。消息面上，半导体设备作为晶圆扩产中70%-80%资金投向的核心环节，受益于AI基建、HBM及先进封装驱动，SEMI预计2026年全球设备销售额将达1659亿美元，同比增长23.2%。

中信证券明确“半导体国产设备及零部件端订单快速增长、交付偏紧”，并将设备龙头列入三季度业绩表现相对亮眼的细分板块。

截至2026年10月9日 11:08，科创半导体设备ETF鹏华(589020)标的指数上证科创板半导体材料设备主题指数(950125)下跌5.46%。成分股方面，晶升股份领跌10.85%，欧莱新材下跌9.91%，神工股份下跌9.67%，艾森股份下跌9.15%，上海合晶下跌8.94%。

科创半导体设备ETF鹏华(589020)紧密跟踪上证科创板半导体材料设备主题指数，上证科创板半导体材料设备主题指数选取科创板内业务涉及半导体材料和半导体设备等领域的上市公司证券作为指数样本，以反映科创板半导体材料和设备上市公司证券的整体表现。

数据显示，截至2026年9月30日，上证科创板半导体材料设备主题指数(950125)前十大权重股分别为华海清科、中科飞测、中微公司、拓荆科技、芯源微、华峰测控、盛美上海、沪硅产业、安集科技、富创精密，前十大权重股合计占比74.02%。