屹唐股份10月29日公告,公司拟通过全资子公司屹唐半导体科技(北京)有限责任公司在北京经济技术开发区投资建设屹唐半导体集成电路装备制造基地项目,聚焦干法去胶、快速热处理、干法刻蚀及等离子体表面处理等设备规模化生产。本项目投资总额约为人民币18亿元。
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