半导体产业链开盘领涨，消息面上，马斯克旗下半导体合资企业Terafab已向半导体设备供应商透露，计划于2032年实现月产100万片晶圆的产能目标，其中70万片用于存储芯片、30万片用于逻辑芯片。国内方面，11月5日至10日，第九届中国国际进口博览会在上海举行，上海微电子装备集团携自主研发的新一代前道干式扫描投影光刻机SSC800、SSB800（模型）亮相中国馆，展示我国前道光刻装备自主化的阶段性成果。

银河证券认为，近期半导体设备板块回调幅度最大，现企稳修复。国内存储厂扩产将是拉动设备厂商下一轮出货的重要驱动因素，经前期调整后半导体设备板块估值已低，且海外AI叙事波动将凸显国产链确定性。

截至2026年11月10日 09:36，科创半导体设备ETF鹏华(589020)标的指数上证科创板半导体材料设备主题指数(950125)强势上涨2.02%，成分股西安奕材上涨3.59%，中科飞测上涨3.24%，神工股份上涨2.88%，兴福电子，安集科技等个股跟涨。

科创半导体设备ETF鹏华(589020)紧密跟踪上证科创板半导体材料设备主题指数，上证科创板半导体材料设备主题指数选取科创板内业务涉及半导体材料和半导体设备等领域的上市公司证券作为指数样本，以反映科创板半导体材料和设备上市公司证券的整体表现。

数据显示，截至2026年10月30日，上证科创板半导体材料设备主题指数(950125)前十大权重股分别为华海清科、中微公司、中科飞测、拓荆科技、芯源微、安集科技、华峰测控、沪硅产业、盛美上海、中船特气，前十大权重股合计占比73.9%。