对监管部门函件应逐项准确回复，并保证客观、理性。

张江高科自2016年投资后对上海微电子没有任何增资动作。

对外销售的光刻机主要为激光直写光刻机。

6个交易日涨幅达96%。

计算光刻是芯片设计和制造领域中最大的计算工作负载，其速度提高对于挺进先进制程节点至关重要。