比利时微电子研究中心(IMEC)5月21日公告称,将主办NanoIC试验线,预计25亿欧元的投资将通过公共和私人捐款共同完成。欧盟资助计划通过“芯片联合体”(Chips Joint Undertakings)等提供14亿欧元,私人捐款将来自多个行业合作伙伴(包括ASML),总额将达到11亿欧元。
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