华海清科:第1000台CMP装备正式出机,批量进入国内先进制程大生产线

华海清科4月8日公告,公司近日第1000台CMP装备正式出机并发往国内集成电路龙头企业。目前,公司CMP装备已批量进入国内先进制程大生产线,部分核心技术指标超越国际先进水平。

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