北方华创发布12英寸先进气体团簇离子束刻蚀设备

6月2日,据北方华创消息,北方华创日前发布12英寸气体团簇离子束(GCIB)刻蚀设备Acme Glaion130。据介绍,设备突破三大核心技术瓶颈,覆盖先进逻辑、存储、封装、硅光芯片及AR/VR应用场景。

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北方华创

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