近日，上海芯上微装科技股份有限公司自主研发的350nm步进投影光刻机（AST6200）通过国内化合物半导体领域头部客户的工艺验证，并斩获批量重复订单。该设备可广泛应用于功率器件、射频前端、光电子芯片及Micro LED新型显示等制程场景，搭载高性能投影物镜与先进照明模式，稳定实现350nm高分辨率精细图案化能力。设备在关键工艺效果、工艺适应性与软件自主化方面均展现出核心优势，进一步丰富了国产光刻设备的供给能力，助力化合物半导体制造装备自主可控进程。

南方基金郑晓曦关注半导体产业链投资机遇。她管理的南方信息创新混合持仓聚焦科技自立自强，其2026年度二季报显示，其前十大重仓股中包括精测电子、华海清科、华虹宏力等拥有领先技术的国产半导体产业链龙头企业。另一只产品南方半导体产业股票则深耕半导体芯片产业，尤其是光刻机模块，其2026年度二季报显示，其前十大重仓股中包括芯源微、波长光电等国产核心企业。

南方信息创新混合（A 类：007490/C 类：007491）

南方半导体产业股票发起（A 类：020553/C 类：020554）