此前有媒体报道,由于先进制程推进顺利和订单量扩大,台积电将加大EUV光刻机的采购力度,预计到2021年底采购量为55台左右。台积电方面回复称:公司不评论市场传闻。据了解,一台EUV光刻机售价近8亿元,55台EUV光刻机价值约440亿元。
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