记者 | 张乔遇 

近日，深圳中科飞测科技股份有限公司（简称：中科飞测）向上交所递交科创板上市申请，国泰君安为保荐机构。

中科飞测是一家高端半导体质量控制设备公司，从事检测和量测两大类集成电路专用设备的研发、生产和销售。公司的质量控制设备主要包括检测设备和量测设备两大类。 

该公司实控人曾就职于龙头企业——科磊半导体，并受到华为资本青睐。此外，界面新闻记者注意到，截至招股书披露日，中科飞测扣除非经常损益后尚未盈利。现金流吃紧之下，实控人多次为公司提供关联担保。

实控人履历光鲜，华为旗下哈勃投资入股

2014年12月，苏州翌流明、岭南晟业及中科院微电子所共同出资设立飞测有限（中科飞测前身）。其中，中科院微电子所（国有股东）用4项专利协议作价480万元，合计注册资本3000万元。2020年12月，飞测有限变更设立股份公司。

截至招股书签署日，苏州翌流明直接持有中科飞测15.75%的股份，通过小纳光间接控制中科飞测7.86%的股份，合计控制中科飞测23.61%的股份，系公司控股股东。 

CHEN LU（陈鲁）、哈承姝夫妇合计持有苏州翌流明100%股份；苏州翌流明同时为小纳光执行事务合伙人，CHEN LU（陈鲁）、哈承姝夫妇通过苏州翌流明对小纳光享有控制权；此外，哈承姝直接持有公司6.93%股份。因此，CHEN LU（陈鲁）、哈承姝夫妇合计控制公司30.54%股份，系中科飞测的实际控制人。

界面新闻记者注意到，两名实控人来头不小。据招股书披露，CHEN LU（陈鲁）毕业于中国科学技术大学少年班，取得物理学专业学士；同时还取得了美国布朗大学物理学专业博士研究生学位。

2005年11月至2010年2月，CHEN LU（陈鲁）曾任科磊半导体资深科学家和中科院微电子所研究员、博士生导师。据VLSI Research统计，2020年全球前十名半导体设备企业中，科磊半导体位居第五，市场份额为5.9%。

哈承姝毕业于耶鲁大学国际和发展经济学专业，取得硕士研究生学位，随后又取得美国华盛顿大学职业法律专业博士研究生学位。2007年10月至2011年2月，哈承姝任德勤会计师事务所（美国）高级税务分析师，随后还担任过金沙江创业投资（加州）管理有限公司经理、天成国际集团控股有限公司Finance Director。

值得注意的是，中科飞测身后股东星光熠熠。据招股书披露，2020年9月，华为关联企业深圳哈勃科技投资合伙企业（有限合伙）（下称：哈勃投资）出资认缴公司新增注册资本327.90万元，增资价格为15.25元/注册资本。截至发行前，哈勃投资持股比例为3.3%。

2019年12月和2020年9月，深创投（CS）通过中科飞测的两次增资分别以13.12元/注册资本、21.03元/注册资本价格入股。截至发行前深创投（CS）持股比例为4.08%，中科院微电子所持股比例为4.84%，国有股东合计持股8.92%。

扣非后仍未盈利，存大额股份支付

中科飞测产品主要包括无图形晶圆缺陷检测设备系列、图形晶圆缺陷检测设备系列、三维形貌测量设备系列和薄膜膜厚量测设备系列等产品，已应用于国内28nm及以上制程的集成电路制造产线。

2018年至2021年上半年（报告期），中科飞测主营业务收入分别为2899.05万元、5565.31万元、2.37亿元和5599.27万元，检测设备营收占比从2018年43.59%逐步扩大至2020年65.66%。

中科飞测表示，公司产品已广泛应用于在中芯国际、长江存储、士兰集科、长电科技、华天科技、通富微电等国内主流集成电路制造产线。但目前，全球半导体检测和量测设备市场也呈现国外设备企业垄断的格局，全球范围内主要检测和量测设备企业包括科磊半导体、应用材料、日立等。 

其中科磊半导体一家独大，根据VSLI Research的统计，其在检测与量测设备的合计市场份额占比为50.8%。另外，全球前五大公司合计市场份额占比超过了82.4%，均来自美国和日本，市场集中度较高。

半导体质量控制设备是晶圆厂的主要投资支出之一，设备的性价比是其选购时的重要考虑因素。质量控制设备检测速度和吞吐量的提升将有效降低集成电路制造厂商的平均晶圆检测成本，从而实现降本增效。因此，检测速度和吞吐量更高的检测和量测设备可帮助下游客户更好地控制企业成本，提高良品率。

报告期中科飞测大客户包括华天昆山、长电先进、中芯国际、士兰集科等公司，前五大客户合计销售金额占当期销售总额的比例分别为97.43%、72.72%、51.21%和77.92%，客户高度集中。

即便有知名客户的衬托，报告期中科飞测扣非后归母净利润分别为-5804.33万元、-7238.70万元、-132.58万元和-3280.27万元，仍然尚未盈利。

界面新闻记者注意到，报告期内，中科飞测股份支付费用分别为2012.49万元、4954.01万元、266.27万元和127.27万元，累计发生股份支付7360.04万元，尤其是2018年、2019年，公司管理费用项下的股份支付费就分别达到了1927.86万元和4847.58万元。

这也直接导致了，中科飞测管理费用率严重背离行业平均水平。同行业可比公司中微公司（688012.SH）、芯源微（688037.SH）、盛美上海（688082.SH）、华海清科和华峰测控（688200.SH）报告期平均管理费用率分别为18.40%、21.93%、9.75%和7.96%。同期中科飞测管理费用率分别达到了111.92%、120.85%、10.68%和25.41%的高值。尤其是2018年至2019年两年，中科飞测管理费用率严重背离行业。

剔除股份支付后，中科飞测报告期的管理费用率仍高达47.34%、34.26%、10.68%和25.41%。对于管理费用率较高的情况，中科飞测表示系由于报告期初公司业务规模较小，但管理支出相对固定，此外2021年上半年管理费用率有所上升系由于当期收入规模较小导致。

此外，研发支出也是中科飞测成本项中的主要部分。截至2021年上半年，中科飞测共有研发人员150名，占员工总数的比例为38.86%。

报告期，中科飞测研发费用支出分别为3505.56万元、5598.80万元、4617.16万元和3369.19万元，占当期营收的比例分别为117.44%、100.01%、19.43%和59.53%。值得注意的是，2018年2019年中科飞测研发就超出了营业收入的总和。  

营运资金吃紧，实控人多次提供借款担保

报告期内，中科飞测经营现金流量净额分别为-5802.94万元、-2848.82万元、-8612.78万元和-4034.74万元，营运资金紧张。另值得注意的是，中科飞测不存在作为关联方提供担保的情形，但存在报告期作为被担保方的关联担保情况。

2018年3月19日和2019年5月23日，CHEN LU（陈鲁）、哈承姝分别与中国银行深圳布吉支行签订《中小企业业务保证合同》、《中小企业业务最高额保证合同》，对中科飞测与中国银行深圳布吉支行签订的《流动资金借款合同》、《中小企业业务授信额度协议》提供连带责任保证。

两次担保涉及借款合同借款本金300万元、授信额度1000万元，保证担保的范围为主债权本金及其他相关利息、费用等，保证期间为主债权的清偿期届满之日起两年。

2021年6月22日，二人又与招商银行深圳分行签订《不可撤销担保书》，为中科飞测与银行签订的《借款合同》承担连带保证责任，该借款合同借款本金500万元，保证范围为该《借款合同》下公司的全部债务。保证责任期间为担保书生效之日起至借款或其他债务到期之日或垫款之日起另加三年。公司于2021年7月收到该笔贷款。

在此之前，2019年1月14日，中科飞测、哈承姝作为共同借款人与建设银行深圳市分行签订了《云快贷借款合同》，哈承姝作为共同借款人与中科飞测共同债务承担连带责任。

该年2月，股东前海博林与银行签订协议，对该借款合同承担连带责任保证，签署借款合同借款额度为1000万元。保证担保的范围为主债权本金1000万元及其他相关利息、费用，保证期间为合同生效之日起至债务履行期限届满之日后两年止。