三星已成功大幅减少3D NAND闪存生产光刻工艺中光刻胶的使用量。据消息人士透露，其已制定未来NAND的生产路线图，光刻胶使用量仅为之前的一半。（TheElec）
三星大幅减少未来生产NAND所需光刻胶使用量
来源：界面新闻
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