北方华创:12英寸CCP晶边刻蚀设备Accura BE已在客户端量产

北方华创8月9日在互动平台表示,公司近日发布了应用于晶边刻蚀工艺的首台国产12英寸CCP晶边刻蚀设备Accura BE,该设备已在客户端量产。

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